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注意好這些事項(xiàng),您可以更好的使用光學(xué)膜厚儀

更新時(shí)間:2020-12-07  |  點(diǎn)擊率:1172
  光學(xué)膜厚儀是一種非接觸式測(cè)量?jī)x器,一般會(huì)運(yùn)用在生產(chǎn)廠商大量生產(chǎn)產(chǎn)品的過(guò)程,由于誤差經(jīng)常會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品全部報(bào)廢,這時(shí)候就需要運(yùn)用光學(xué)膜厚儀來(lái)介入到生產(chǎn)環(huán)境,避免這種情況的發(fā)生。
 
  光學(xué)膜厚儀的光學(xué)機(jī)械組件:
  1、光源:寬光譜光源;
  2、探測(cè)器:高靈敏度低噪音陣列式光譜探測(cè)器;
  3、控制箱:含電路板、控制單元、電源、光源;
  4、輸出設(shè)備:軟件界面支持輸出、輸入光譜數(shù)據(jù)庫(kù)。
 
  系統(tǒng)特點(diǎn):
  1、嵌入式在線診斷方式;
  2、免費(fèi)離線分析軟件;
  3、精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果;
  4、主要為半導(dǎo)體、新能源企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供各類精密進(jìn)口制程及測(cè)量設(shè)備。提供全面的一對(duì)一*,技術(shù)支持,備件管理和咨詢服務(wù)。
 
  性能特點(diǎn):
  1、快速測(cè)量:僅需1-2秒就可以完成一次測(cè)量;
  2、測(cè)量范圍廣:可測(cè)量膜厚范圍從15nm-70um;
  3、簡(jiǎn)潔操作:常規(guī)操作,只需點(diǎn)擊一個(gè)按鈕就可完成操作;
  4、高效穩(wěn)定:適用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng),穩(wěn)定可靠;
  5、經(jīng)濟(jì)實(shí)用:能夠滿足膜厚的常規(guī)測(cè)量,成本較低。

  光學(xué)膜厚儀的使用注意事項(xiàng):
  1、零點(diǎn)校準(zhǔn):在每次使用膜厚儀之前需要進(jìn)行光學(xué)校準(zhǔn),因?yàn)橹暗臏y(cè)量參數(shù)會(huì)影響該次對(duì)物體的測(cè)量,零點(diǎn)校準(zhǔn)可以消除前次測(cè)量有參數(shù)的影響,能夠降低測(cè)量的結(jié)果的誤差,使測(cè)量結(jié)果更加jīng確;
  2、基體厚度不宜過(guò)?。涸谑褂霉鈱W(xué)膜厚儀對(duì)物體進(jìn)行測(cè)量時(shí)基體不宜過(guò)薄,否則會(huì)大程度的影響儀器的測(cè)量精度,造成數(shù)據(jù)結(jié)果不準(zhǔn)確,影響測(cè)量過(guò)程的正常進(jìn)行;
  3、物體表面粗糙程度:對(duì)于被測(cè)物體的表面不宜太過(guò)粗糙,因?yàn)榇植诘谋砻嫒菀滓鸸獾难苌?,降低了光學(xué)膜厚儀的測(cè)量精度,造成很大的誤差。所以被測(cè)物體的表面應(yīng)該盡量保持光滑,以保證測(cè)量結(jié)果的jīng確性。
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