国产伦精品一区二区三区,免费高清视频,欧美午夜精品一区二区蜜桃,亚洲AV无码成人精品区日韩

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  ThetaMetrisis 膜厚儀應(yīng)用說(shuō)明

ThetaMetrisis 膜厚儀應(yīng)用說(shuō)明

更新時(shí)間:2022-08-13  |  點(diǎn)擊率:2943

ThetaMetrisis 膜厚儀應(yīng)用說(shuō)明#050

應(yīng)用微間距覆晶解決方案應(yīng)用銅柱凸塊新封裝技術(shù)系列激光加工/切割冷卻液水溶性保護(hù)膜(HogoMax)厚度測(cè)量應(yīng)用。

膜厚儀原理.png

1、介紹:

    隨著芯片制程逐漸微縮到28奈米,凸塊尺寸同樣減小,銅柱凸塊成為繼銅打線封裝制程后新的封裝技術(shù)變革.與錫鉛凸塊比較,銅柱凸塊具有較佳的效能及較低的整體封裝成本。銅柱凸塊應(yīng)用于覆晶封裝上連結(jié)芯片和與載板的技術(shù)適合用于高階芯片封裝,例如應(yīng)用處理器、微處理器、基頻芯片、繪圖芯片等。

    用於半導(dǎo)體激光加工/切割工藝的高純度水溶性保護(hù)膜(PVA(聚乙烯醇,polyvinylalcohol)樹脂)具有以下優(yōu)點(diǎn):

1.HogoMax是一種水溶性樹脂,可防止顆粒粘附到晶圓表面

2.通過(guò)使用旋涂機(jī)將HogoMax應(yīng)用于激光加工表面,可以大da減少碎屑的粘附,從而提高設(shè)備的可靠性。

3.此外,激光加工后的薄膜只需用去離子水清洗即可去除。

因此控制HogoMax薄膜厚度均勻性對(duì)于激光加工/切割工藝至為重要

    HogoMax(PVA)水溶性保護(hù)膜作用示意圖

水溶性保護(hù)膜作用示意圖.png

內(nèi)容引用DISCO公司網(wǎng)站

2、目的和方法:

被測(cè)量的樣品是一個(gè)380X380mm表面帶有旋涂HogoMax薄膜12吋晶圓樣品。本公司集成ThetametrisisFR-MicVIS/NIR膜厚測(cè)量?jī)x+電動(dòng)XY平臺(tái)同時(shí)測(cè)量包括圖案內(nèi),晶圓切割處邊緣以及銅柱凸塊等區(qū)域.該機(jī)型光譜范圍為370nm-1020nm,能夠測(cè)量15nm至90um的涂層厚度.

3、測(cè)量結(jié)果:

在下面的圖像中,HogoMax和Polyimde層的理論值(紅線)和樣品表面反射光譜(綠線)與厚度分布圖一并呈現(xiàn)說(shuō)明,如FR-Scanner軟件上所見,樣品經(jīng)過(guò)數(shù)次重復(fù)性掃描測(cè)量以確定工具的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性,并得出右側(cè)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù).

測(cè)量結(jié)果.png

測(cè)量厚度為HogoMax~1.5um+Polyimde4.36um(反射率光譜發(fā)現(xiàn)兩種頻率分別為PVA和下層Polyimde)

4、結(jié)論:

    使用FR-Mic成功的測(cè)量12吋晶圓樣品的HogoMax層的厚度。通過(guò)厚度測(cè)量并分析統(tǒng)計(jì)區(qū)域的厚度分布和均勻性,快速且無(wú)損地測(cè)量了薄膜厚度以保護(hù)陶瓷部件在等離子腔體中不受損壞。FR-Scanner是一種快速、準(zhǔn)確測(cè)量大面積或預(yù)選位置上薄膜或疊層薄膜解決方案.

機(jī)臺(tái)配置ThetametrisisFR-MicVIS/NIR膜厚測(cè)量?jī)x+電動(dòng)XY平臺(tái)

 

5、量測(cè)界面

    單層PI量測(cè):Polyimde7.799um也可以量測(cè)銅柱頂端厚度


亚洲AV无码偷拍在线观看| 7777久久亚洲中文字幕蜜桃| 黄桃AV无码免费一区二区三区| 亚洲天天做日日做天天爽| 久久久精品久久久久久96| 亚洲精品欧美综合一区二区| 国产手机精品一区二区| 人妻少妇乱子伦精品无码专区 | 久久人人做人人妻人人玩精品VA | a级国产乱理伦片在线观看| 欧美超级乱婬视频播放| 性色AV一区二区三区咪爱四虎| 久久久久国產麻豆无碼AV| 18禁无遮挡无码网站免费| 囯产极品美女高潮无套久久久| 日本爆乳无码一区二区漫画| 国产激情一区二区三区app| 亚洲精华国产精华精华液网站| 国产偷V国产偷V亚洲高清学生 | 国产成人精品一区二区三区| 无码一区二区三区在线| 色婷婷亚洲精品天天综合影院| 在线观看免费视频| 青青河边草免费视频观看| 亚洲啪啪综合AV一区| 7777色鬼xxxx欧美色妇| 女女车车的车车视频免费| 国产免费无码一区二区| 小粉嫩精品a片在线视看| 人妻丰满AV无码久久不卡| 99国产精品白浆在线观看免费| 人人做人人爽人人爱| 99热这里只有精品| 精品熟女60老妇av免| 黑人巨大精品欧美黑寡妇AV免费| 国产青草视频在线观看| 中文字幕精品无码亚洲字| 无码熟妇人妻av在线影片软件| 久久久久久午夜成人影院| 熟女少妇丰满一区二区| 亚洲精品久久久久无码精品|