国产伦精品一区二区三区,免费高清视频,欧美午夜精品一区二区蜜桃,亚洲AV无码成人精品区日韩

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  什么是光刻機(jī)?它包含了哪些設(shè)備?

什么是光刻機(jī)?它包含了哪些設(shè)備?

更新時(shí)間:2023-01-06  |  點(diǎn)擊率:1061
  光刻機(jī),這是一個(gè)全新已經(jīng)被生產(chǎn)廠家驗(yàn)證過(guò)的新型光刻曝光設(shè)備。它以及晶圓對(duì)晶圓(W2W)接合曝光和測(cè)試系統(tǒng),可滿足用戶對(duì)更高光刻精度的需求。業(yè)內(nèi)向更小結(jié)構(gòu)和更密集封裝生產(chǎn)轉(zhuǎn)型的趨勢(shì)帶來(lái)了眾多的新挑戰(zhàn),如對(duì)更高精度的要求,因?yàn)檫@將嚴(yán)重影響設(shè)備的偏差律,并最終影響生產(chǎn)效率和增加成本。
 
  光刻機(jī)可較大提高對(duì)準(zhǔn)精度-范圍從1微米至0.1微米-從而為生產(chǎn)廠家在先進(jìn)微電子、化和物半導(dǎo)體、硅基電功率、三維集成電路和納米等幾乎所有相關(guān)產(chǎn)業(yè)提供了解決方案。
 

 

  光刻機(jī)增加了對(duì)準(zhǔn)精度,該系列包括了光刻機(jī)、對(duì)準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)和W2W接合曝光。
 
  1、光刻機(jī):分別可以處理從小于5mm到150mm和從3英寸到200mm襯底-擁有一系列先進(jìn)的功能和特點(diǎn),包括一個(gè)花崗巖基座、主動(dòng)式隔振裝置和線性馬達(dá),以達(dá)到更高的精度和生產(chǎn)量要求。擁有了這些建立在EVG最靈活全面的對(duì)準(zhǔn)平臺(tái)上的新系統(tǒng),生產(chǎn)商只需進(jìn)行簡(jiǎn)單的一對(duì)一轉(zhuǎn)換,將手動(dòng)型號(hào)      轉(zhuǎn)換成全自動(dòng)機(jī)臺(tái),就能很容易地實(shí)現(xiàn)從研發(fā)到量產(chǎn)之間的過(guò)渡。這種輕松量產(chǎn)的方式和對(duì)準(zhǔn)精度的提高(低至0.1μm)可以幫助客戶更好地控制擁有成本(CoO)。
 
  2、對(duì)準(zhǔn)測(cè)試系統(tǒng):被設(shè)計(jì)用于對(duì)單、雙面結(jié)構(gòu)晶圓和接合面進(jìn)行高精度無(wú)損精確性測(cè)試。這種新系統(tǒng)克服了一般雙面顯微鏡系統(tǒng)和紅外系統(tǒng)必須依靠笨拙耗時(shí)的程序來(lái)校正光軸的限制。它的高度靈活性體現(xiàn)在其能快速地在晶圓面上提供沒(méi)有數(shù)量限制的測(cè)試點(diǎn)。與上一代產(chǎn)品相比,NT系列的生產(chǎn)量提高到5個(gè)折層,可以每小時(shí)進(jìn)行200~300次測(cè)試。另外,整個(gè)過(guò)程十分可靠,結(jié)果顯示精度提高60%,測(cè)試精度達(dá)到小于0.2μm。這些結(jié)果都是具有99%以上的超高可重復(fù)性和高再現(xiàn)性的。
 
  3、W2W接合曝光:多重晶圓堆棧和接合的流程需要小于1μm的對(duì)準(zhǔn)精度。為了應(yīng)對(duì)這一挑戰(zhàn),SmartViewNT利用了一種革命性的高精度對(duì)準(zhǔn)臺(tái),這種對(duì)準(zhǔn)臺(tái)使用上下兩面對(duì)準(zhǔn)的顯微鏡來(lái)保證最高程度的精確性。這種全面的接合機(jī)也可以處理所有種類的對(duì)準(zhǔn),包括面對(duì)面式、背面式和紅外透明式。除去后續(xù)步驟,如產(chǎn)生背面對(duì)準(zhǔn)鍵和雙面磨光,W2W對(duì)準(zhǔn)的最初結(jié)果已經(jīng)表明了其小于0.3μm面對(duì)面式的對(duì)準(zhǔn)精度。這些都使你能降低擁有成本。SmartViewNT與前幾代產(chǎn)品相比,對(duì)準(zhǔn)精度比SmartView、背面式、透明式對(duì)準(zhǔn)分別提升了超過(guò)60%、300%和40%,使系統(tǒng)能有效地達(dá)到嚴(yán)酷的精度求。
无码国产一区二区三区四区公司| 45分钟做受片免费观看| 久久亚洲国产成人影院| 久久久久久精品免费免费英国| 农村熟妇高潮精品a片| 香蕉久久久久久久av网站| 欧美十大艳星| 无码av免费毛片一区二区| 亚洲精品色情app在线下载观看| 国产全肉乱妇杂乱视频| 美女18禁一区二区三区视频| 久久久久久人妻一区精品| 女人被狂c躁到高潮视频免费网站| 久久69国产精品久久69软件| 欧美性十八变态另类| 国产成人精品亚洲777人妖| 欧美xxxxx高潮喷水| 免费网站看v片在线18禁无码| 亚洲AV色香蕉一区二区三区| 亚洲成色WWW久久网站| 欧美人妻一区二区三区| 无码国产精品一区二区免费I6| 日韩精品无码中文字幕第一区| 中文字幕人妻丝袜美腿乱| 青青河边草免费视频观看| 国产做A爰片久久毛片A片白丝| 久久夜色精品国产嚕嚕亚洲av| 精品国产一区二区三区免费| 精品国内自产拍在线观看视频| 国产成人午夜精品一区二区三区| 任我爽橹在线视频精欧美| 国产精品久久久久精品综合| 免费观看mv大片的直播软件 | 国产精品a久久777777| 日韩精品无码一区| 绯色AV视频精品一区二区| 国产欧美日韩| 久久精品99国产国产精| 成全动漫视频在线观看免费高清| 天天躁日日躁狠狠躁人妻| 人妻精品久久久久中文字幕一冢本|