国产伦精品一区二区三区,免费高清视频,欧美午夜精品一区二区蜜桃,亚洲AV无码成人精品区日韩

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  技術(shù)文章  >  EVG突破用于半導(dǎo)體高/級(jí)封裝的掩模對(duì)準(zhǔn)光刻技術(shù)中的速度和精度障礙

EVG突破用于半導(dǎo)體高/級(jí)封裝的掩模對(duì)準(zhǔn)光刻技術(shù)中的速度和精度障礙

更新時(shí)間:2023-02-20  |  點(diǎn)擊率:1802

 面向MEMS,納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的LING XIAN供應(yīng)商EV GroupEVG)近日推出了IQ Aligner NT,它是針對(duì)大批量先進(jìn)封裝應(yīng)用的新的,先進(jìn)的自動(dòng)掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)。新型IQ Aligner NT具有高強(qiáng)度和高均勻度的曝光光學(xué)器件,新的晶圓處理硬件,可實(shí)現(xiàn)全局多點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)的200mm300mm晶圓WAN QUAN覆蓋范圍以及優(yōu)化的工具軟件,從而使生產(chǎn)率提高了2倍與EVG上一代IQ Aligner相比,對(duì)準(zhǔn)精度提高了2倍。該系統(tǒng)超越了晶圓凸塊和其他后端光刻應(yīng)用的ZUI KE KE要求,同時(shí)與競(jìng)爭(zhēng)系統(tǒng)相比,擁有成本降低了30%。

      IQ Aligner NT非常適合各種高級(jí)封裝類(lèi)型,包括晶圓級(jí)芯片級(jí)封裝(WLCSP),扇出晶圓級(jí)封裝(FOWLP),3D-IC /直通硅通孔(TSV),2.5D中介層和倒裝芯片。

需要新的光刻功能
      半導(dǎo)體高級(jí)封裝正在不斷發(fā)展,以使新型器件能夠以更低的功能成本增加功能。結(jié)果,現(xiàn)在需要光刻的新發(fā)展來(lái)滿足先進(jìn)封裝市場(chǎng)的DU TE需求。這些需求包括:

    • JI GAO的對(duì)準(zhǔn)精度

    • 管理晶圓翹曲并解決晶圓和掩模布局的尺寸不匹配問(wèn)題,以實(shí)現(xiàn)優(yōu)化的覆蓋

    • 充分暴露后端處理中發(fā)現(xiàn)的較厚的抗蝕劑和介電層

    • 更高的分辨率可解決由于器件縮放而導(dǎo)致的凸塊和互連縮小

    • 同時(shí),所有這些需求都必須在具有高成本效益和高生產(chǎn)率的光刻工具平臺(tái)中得到滿足。

      EV Group執(zhí)行技術(shù)總監(jiān)Paul Lindner表示:憑借超過(guò)三十年的光刻經(jīng)驗(yàn),EVG借助我們的新型IQ Aligner NT將掩模對(duì)準(zhǔn)技術(shù)的領(lǐng)域推向了新的境界。” “我們的光刻解決方案套件的最新添加提供了QIAN SUO WEI YOU的吞吐量,準(zhǔn)確性和擁有成本性能水平,這反過(guò)來(lái)又為EVG開(kāi)辟了各種新的市場(chǎng)機(jī)會(huì)。我們期待與客戶緊密合作,以滿足他們至關(guān)重要的高級(jí)封裝光刻需求。

      IQ Aligner NT進(jìn)行了多種改進(jìn),以實(shí)現(xiàn)行業(yè)LING XIAN的掩模對(duì)準(zhǔn)性能,以實(shí)現(xiàn)高級(jí)封裝光刻:

    • EVG的上一代IQ Aligner相比,高功率光學(xué)器件的照明強(qiáng)度提高了3倍,使其成為曝光厚抗蝕劑和與處理凸點(diǎn),支柱和其他高形貌特征相關(guān)的其他膜的理想選擇

    • 300毫米基板上進(jìn)行WAN QUAN的明場(chǎng)掩模移動(dòng),從而在暗場(chǎng)掩模對(duì)準(zhǔn)和圖案定位方面提供了高的工藝兼容性和靈活性

    • 雙基板尺寸概念無(wú)需進(jìn)行任何重新組裝工作,為兩種不同尺寸的晶圓提供了快速,便捷的快速橋接工具

    • 支持全自動(dòng)以及半自動(dòng)/手動(dòng)晶圓裝載操作,以實(shí)現(xiàn)大的靈活性

    • 基于最新fab軟件標(biāo)準(zhǔn)和協(xié)議的最新EVG CIMFramework系統(tǒng)軟件

WU YU LUAN BI的準(zhǔn)確性和生產(chǎn)率性能
      IQ Aligner NTZUI XIAN JIN的光學(xué)和機(jī)械工程技術(shù)與優(yōu)化的工具軟件相結(jié)合,使產(chǎn)量提高了兩倍(第一次打印> 200 wph,頂部對(duì)齊> 160 wph)以及對(duì)準(zhǔn)精度提高了兩倍(250nm 3-sigma)。由于嚴(yán)格的對(duì)齊規(guī)范,客戶還可以提高GAO DUAN和高帶寬包裝產(chǎn)品的良率。
      此外,EVG將在314日至16日在中國(guó)上海的上海新國(guó)際博覽中心舉行的SEMICON China展覽會(huì)上展示IQ Aligner NT。有興趣了解有關(guān)IQ Aligner NT以及EVG先進(jìn)封裝的光刻和晶圓鍵合解決方案套件的更多知識(shí)的與會(huì)者,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)公司的#4663展位。

關(guān)于EV集團(tuán)(EVG

      EV GroupEVG)是制造半導(dǎo)體,微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS),化合物半導(dǎo)體,功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的LING XIAN供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合,薄晶圓處理,光刻/納米壓印光刻(NIL)和計(jì)量設(shè)備,以及光刻膠涂布機(jī),清潔劑和檢查系統(tǒng)。EV Group成立于1980年,為各地精致的客戶和合作伙伴提供服務(wù)并提供支持。

 

 

日韩国产丝袜人妻一二区| 一本大道伊人AV久久综合| 国产无遮挡无码视频免费软件| 激情亚洲一区国产精品| 婷婷综合亚洲爱久久| 日韩精品人妻系列无码专区免费| 欧美人妻一区黄A片| AV国产剧情MD精品磨豆| 亚洲国产精品久久久久秋霞影院| 亚洲AV中文无码乱人伦在线观看 | 综合 欧美 亚洲日本| a片免费| 人妻丰满熟妇av无码区| 欧美人体艺术视频| 国产精品一区| 欧美电影在线观看| 人人妻人人爽日日人人| 国产美女精品视频线免费播放软件| 国产a片| 亚洲精品无码久久久久APP| 国产v亚洲v天堂无码久久久| 国产精品18久久久久久不卡| 国产色无码精品视频免费| 日日躁夜夜躁狠狠久久av| 免费看成人做xxoo视频| 农民人伦一区二区三区| 色偷偷国色天香在线观看免费视频 | 欧美精品精品一区在线发布| 性色A∨亚洲一区二区三区| 精品久久久久久久免费人妻| 国产精品久久久久久久久久直播 | 亚洲午夜精品久久久久久人妖 | 国产猛男GAY1069视频| 99精品国产99久久久久久97| 强行糟蹋人妻hd中文字幕| 国产乱国产乱老熟300部| 亚洲日韩国产av无码无码精品 | 亚洲国产精品第一区二区| 亚洲色久悠悠av在线观看| 国产精品乱码在线观看| 花火视频影视大全免费观看|