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NIL納米壓印技術(shù)在生物醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用

更新時間:2023-05-25  |  點擊率:1652

在過去的幾十年中,生物技術(shù)器件的小型化極大地改善了臨床診斷,藥物研究和分析化學(xué)。現(xiàn)代生物技術(shù)器件——如用于診斷、細(xì)胞分析和藥物發(fā)現(xiàn)的生物醫(yī)學(xué)MEMS (bioMEMS)——通常是基于芯片的,依賴于微米級和納米級生物物質(zhì)的密切相互作用。根據(jù)市場研究和策略咨詢公司YoleDéveloppement的報告,越來越多的醫(yī)療保健應(yīng)用正在使用bioMEMS組件,而bioMEMS市場預(yù)計將從2015年的27億美元增長至2021年的76億美元,增長近三倍。到2021年,微流控器件將占生物醫(yī)學(xué)MEMS市場總量的86%,主要應(yīng)用領(lǐng)域包括即時檢測、臨床和獸醫(yī)診斷、制藥和生命科學(xué)研究以及藥物輸送。



在高門檻、嚴(yán)監(jiān)管且快速增長的市場環(huán)境下,精確且高性價比的微結(jié)構(gòu)化技術(shù)對于這一類產(chǎn)品的成功商業(yè)化至關(guān)重要。傳統(tǒng)的工藝方法(例如注塑成型)通常無法生產(chǎn)出極小的結(jié)構(gòu)和表面圖案,而這些要求苛刻的應(yīng)用對于精度、質(zhì)量和可重復(fù)性的要求越來越高,或是需要在工藝開發(fā)方面投入大量精力。與此同時,為了實現(xiàn)規(guī)模效應(yīng),解決方案需要從離散的器件生產(chǎn)擴(kuò)展到在單個基板上批量處理多個器件。


NIL納米壓印技術(shù)已經(jīng)從一項小眾技術(shù)發(fā)展成為強(qiáng)大的大批量制造方法,通過壓印進(jìn)入生物相容性光刻膠或直接進(jìn)入散裝材料,能夠大規(guī)模生產(chǎn)多種不同尺寸和形狀的結(jié)構(gòu)——例如高度復(fù)雜的微流體通道和表面圖案。除了結(jié)構(gòu)技術(shù)外,密封和封裝是建立受限微流體通道的核心過程。因此,不同器件層、覆蓋層或互連層的鍵合是一項關(guān)鍵工藝,可與NIL一道實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)高效的大面積批量工藝。作為NIL和晶圓鍵合的先驅(qū)以及市場和技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)zhe,EVG的NIL納米壓印技術(shù)解決方案可以在生物技術(shù)應(yīng)用中使用的各種基板材料上制造各種小型結(jié)構(gòu)(從數(shù)百微米到二十納米),包括玻璃,硅和多種聚合物(例如,COC,COP,PMMA和PS)。每個EVG NIL解決方案適合不同的生產(chǎn)應(yīng)用場景。例如,熱壓印可精確印制較大的結(jié)構(gòu)以及微米結(jié)構(gòu)和納米結(jié)構(gòu)的組合,并且在復(fù)制高縱橫比的特征或使用非常薄的基板時表現(xiàn)優(yōu)異。UV-NIL可在納米范圍內(nèi)提供jigao的精度、圖案保真度和產(chǎn)量。微接觸印刷是另一種NIL選項,它可以將生物分子等材料以dute的模式轉(zhuǎn)移到基材上。



憑借其成熟的晶圓級鍵合設(shè)備,EVG還可提供與NIL納米壓印結(jié)構(gòu)技術(shù)相匹配的封裝和鍵合工藝。從先進(jìn)的室溫鍵合技術(shù)到等離子活化鍵合,乃至高品質(zhì)的氣密和真空封裝,不一而足。典型的解決方案包括用于玻璃和聚合物基板的EVG熱鍵合設(shè)備,通過在大范圍內(nèi)實現(xiàn)高壓和溫度均勻性,效果十分理想。EVG還提供了室溫選擇性粘合劑轉(zhuǎn)移技術(shù),可在器件封裝之前簡化生物分子的摻入。


EVG業(yè)務(wù)發(fā)展總監(jiān)Thomas Uhrmann博士說:“EVG在為生物醫(yī)學(xué)研發(fā)提供產(chǎn)品和解決方案方面有著悠久的歷史,早在15年前,EVG就為新興的生物醫(yī)學(xué)和微流體研究應(yīng)用安裝了第一個熱壓印系統(tǒng)。"“ EVG在這一領(lǐng)域積累的知識,加上我們在其他市場將創(chuàng)新技術(shù)投入批量生產(chǎn)的經(jīng)驗,使我們能夠很好地為生物醫(yī)學(xué)行業(yè)提供成熟的大批量制造工藝和服務(wù),以支持下一代生物技術(shù)器件的生產(chǎn)。"


除設(shè)備和工藝解決方案外,EVG還通過其位于奧地利的公司總部及其北美和日本子公司的潔凈室設(shè)施,為客戶提供開發(fā)和中試生產(chǎn)服務(wù)。

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