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光學(xué)輪廓儀有哪些功能,具體有哪7點(diǎn)優(yōu)勢(shì)?

更新時(shí)間:2021-12-24  |  點(diǎn)擊率:1156
  光學(xué)輪廓儀是一款用于對(duì)各種精密器件表面進(jìn)行亞納米級(jí)測(cè)量的檢測(cè)儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。
 
  光學(xué)輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測(cè)量方法,它具有測(cè)量精度高、使用方便、分析功能強(qiáng)大、測(cè)量參數(shù)齊全等優(yōu)點(diǎn),其*的光源模式,保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測(cè),系統(tǒng)軟件為簡(jiǎn)體中文操作系統(tǒng),操作方便。
 
  具有以下優(yōu)點(diǎn):
 
  1、可以測(cè)量非接觸式非平坦樣品:由于光學(xué)輪廓測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù),可以輕松測(cè)量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測(cè)量曲面的表面光潔度,紋理和粗糙度。除此之外,作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜;
 
  2、無(wú)需更換耗材:只需要一個(gè)LED光源,無(wú)需其他配件更換;
 
  3、可視化3D功能:具有強(qiáng)大的處理軟件,軟件除包括表面粗糙度,形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量外,還可以任意角度移動(dòng)樣品量測(cè)三維圖形,多角度分析樣品圖像;
 
  4、適用于各類樣品:適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質(zhì)、硬質(zhì)涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測(cè)量;
 
  5、價(jià)格優(yōu)勢(shì):市場(chǎng)上具性價(jià)比的白光干涉輪廓儀,具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)的高精度輪廓儀;
 
  6、快速測(cè)量大面積區(qū)域:測(cè)量范圍為毫米級(jí)別,配置XY樣品臺(tái)達(dá)100mm*100mm,可實(shí)現(xiàn)大面積樣品的輕松測(cè)量;
 
  7、簡(jiǎn)單易用:只需將樣品放置于樣品臺(tái)上,即可直接進(jìn)行測(cè)量;
 
  光學(xué)輪廓儀只需操作者裝好被測(cè)器件,在軟件測(cè)量界面上設(shè)置好視場(chǎng)參數(shù),調(diào)整鏡頭到接近器件表面,選擇自動(dòng)聚焦,儀器會(huì)對(duì)器件表面進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦并找到干涉條紋,調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開(kāi)始進(jìn)行掃描測(cè)量;掃描結(jié)束后,軟件分析界面自動(dòng)生成器件3D圖像,操作者可通過(guò)軟件對(duì)生成的3D形貌進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。
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