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光學粗糙度測試儀

簡要描述:OptoScan 600是一款光學粗糙度測試儀,主要用于檢測晶圓缺陷、粗糙度、波紋度、翹曲度等數(shù)據(jù)。

  • 產(chǎn)品型號:OptoScan 600
  • 廠商性質:代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-11-09
  • 訪  問  量: 2485

詳細介紹

X/Y 掃描 600x600 (mm) 的面板

OptoScan 600 光學粗糙度測試儀應用:

整體晶圓快速精確檢查

  • 缺陷

  • 粗糙度

  • 波紋度

  • 翹曲

    檢測臺

直線電機 X/Y

700 x 700 (mm)

(Witte) 真空吸盤

帶旋轉攝像頭傳感器

OptoScan 600 光學粗糙度測試儀 檢測結果

扇出型封裝面板 (FOPLP ) 研磨后的模具粗糙度

Ra values 0.15 µm / Disco Machine.

測量通過拼接 148 次局部區(qū)域掃描(約需 1 小時)


其他推薦:德國OptoSurf WaferMaster WM 300 角分辨光散射(ARS)技術粗糙度測量系統(tǒng)

先進半導體封測應用工藝如扇出型晶圓級封裝 (FOWLP) 及扇出型面板級封裝(FOPLP) 需將晶圓或面板減薄至 50 - 30 µm ,于是晶背研磨工藝后的晶圓粗糙度測量極其重要。OptoSurf 的角分辨散射粗糙度測量系統(tǒng)取代了傳統(tǒng)的 WLI (白光干涉)或 AFM (原子力顯微鏡 )小面積測量技術已經(jīng)用于超導的高質量拋光金屬表面的表面測量中得到充分證明,可在 30 秒內精準測量< 1 nm 的 Ra 值以獲得整個200 毫米晶圓區(qū)域的粗糙度以及微米范圍內的翹曲和納米范圍內的波紋度。

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