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QuickPRO-3D--表面輪廓儀

簡要描述：適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟實惠的表面輪廓儀，納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點和線傳感器），為在線過程測量和控制而設(shè)計，結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作，可配制成獨立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z），多種樣品處理能力

  • 產(chǎn)品型號：
  • 廠商性質(zhì)：代理商
  • 產(chǎn)品資料：
  • 更新時間：2024-11-09
  • 訪  問  量： 1716

詳細介紹

•適用于光學(xué)、工業(yè)和半導(dǎo)體市場的高速、中精度、經(jīng)濟實惠的表面輪廓儀

•納米分辨率彩色共聚焦傳感器（可配制點和線傳感器）

•為在線過程測量和控制而設(shè)計

•結(jié)構(gòu)緊湊，易于上下片和操作

•可配制成獨立系統(tǒng)（X/Y/Z） 和附加升級至LAS （C/R/Z）

•多種樣品處理能力

–單一數(shù)控加工的非球面透鏡（ ?可達100mm）

–托盤中的小型模塑透鏡

–自由曲面光學(xué)器件（無旋轉(zhuǎn)對稱） 半導(dǎo)體，MEMs，LED，OLED，光子晶圓


特點：

•可在納米分辨率下測量大的臺階高度（>1mm）

•適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀


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